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Kahl am Main, 03. August 2011, SINGULUS TECHNOLOGIES (SINGULUS) hat seine nasschemische Batch-Reinigungs- und Ätzanlage für Silizium-Wafer weiterentwickelt. Das Kernstück des modifizierten SILEX Systems ist ein neuer, IPA-freier Texturierungsprozess, der erhebliche Kostenvorteile gegenüber marktüblichen Ätzanlagen bietet. Dieses von der Tochtergesellschaft SINGULUS STANGL SOLAR (SINGULUS STANGL) entwickelte Texturverfahren verzichtet vollständig auf brennbare, leichtflüchtige Lösemittel, wie zum Beispiel Isopropanol (IPA), und ermöglicht einen stabilen nasschemischen Texturprozess für Silizium-Wafer auf der Basis kommerzialisierter Additive.

Mit der Applikation dieses neuen alkalischen Texturprozesses wird auf der modifizierten SILEX Ätzanlage eine Verdreifachung der Ätzbad-Standzeiten bei gleichzeitiger Verkürzung der Ätzzeiten erreicht. Dadurch können Herstellungskosten für monokristalline Silizium-Solarzellen erheblich gesenkt werden. Die erste Anlage wurde von einem großen asiatischen Kunden zertifiziert und hat erfolgreich den Final Acceptance Test (FAT) bestanden.

Die neue Generation der SILEX Anlage zeichnet sich durch eine Vielzahl an Vorteilen gegenüber herkömmlichen nasschemischen Textursystemen aus: Durch den Verzicht auf flüchtige, leicht entflammbare Lösemittel wird der Anlagenaufbau sowie die Prozesskontrolle vereinfacht. Der neue Texturprozess zeichnet sich außerdem durch äußerst stabile und reproduzierbare Prozessergebnisse aus. Vor allem mit der erreichten Oberflächenqualität der Silizium-Zellen erfüllt die Reinigungsanlage die höchsten Ansprüche der Photovoltaik-Industrie. Nicht zuletzt vereinfachen die verwendeten Prozesschemikalien die Entsorgung verbrauchter Ätzlösungen im Vergleich zu herkömmlichen Systemen. Diese Faktoren schlagen sich in einer hohen Kosteneffizienz des neuen Texturverfahrens nieder.

Das neue SILEX System erreicht einen Durchsatz von bis zu 3.000 Wafer pro Stunde und zeichnet sich durch niedrige Bruchraten von < 0,05 Prozent sowie durch homogenes Ätzverhalten aus. Mit Waferdicken im Bereich von 150 µm entspricht die neue SINGULUS STANGL Anlage den aktuellen Anforderungen moderner Massenproduktion in der Silizium-Solartechnik. Die geringe Baugröße, sowie das modulare Design ermöglicht es, die Maschine platzsparend und effizient in existierende Produktionslinien zu integrieren.

Quelle: SINGULUS TECHNOLOGIES AG

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