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Alzenau, 08. August 2011, Leybold Optics GmbH stellt auf dem Messestand und auf dem Fachkongress der EU PVSEC innovative, praxisorientierte Produkte und Lösungen für alle zur Zeit gängigen Solar-Dünnschichtsysteme (a-Si, CIGS, CIGS-Flex, CdTe) vor.

Die Glass & Solar Division von Leybold Optics entwickelt und produziert seit 2005 Vakuum-Systeme für die Photovoltaik-Industrie und Maschinen für die Beschichtung von Architekturglas, Displays und weitere großflächige Anwendungen. Über 160 Jahre Erfahrung in Vakuumbeschichtungen fließen bei Leybold Optics in die Dünnschicht-Technologien für Photovoltaik ein. Das Unternehmen spezialisiert sich auf Bereiche wie Sputtering, PECVD (plasmaenhanced chemical vapour deposition), Evaporation (plasmaunterstützte Verdampfung), Maschinenautomatisierung und Software. Einzigartig im Portfolio des Dünnschichtbereichs und flexibel in der Substratgröße - von einem cm2 bis 19 m2 - setzt Leybold Optics hohe Innovationsfähigkeit als oberste Priorität.

CIGS-Technologie

CIGS, auch unter CIS bekannt, steht für die Abkürzung der verwendeten Elemente Kupfer, Indium, Gallium, Schwefel und Selen. Leybold Optics bietet für diese Dünnschichttechnologie das vollständige Vakuum-Equipment wie Frontkontakt, Absorber Layer, Rückkontakt, etc. für alle notwendigen Prozesse. CIGS-Anlagen von Leybold Optics werden bereits in großen Produktionsstätten bei den Weltmarktführern eingesetzt. Sie zeichnen sich durch ihr auf den Prozess optimiertes Konzept, hohe Zuverlässigkeit und Verfügbarkeit aus.

 

Roll-to-Roll-Verfahren

Für anspruchsvolle, flexible Anwendungen bietet Leybold Optics das Roll-to-roll coating System, auch Web-Coater genannt. Das Verfahren ist konzipiert für Substrate wie Metallfolien oder flexiblem Kunststoff und lässt Beschichtungsmethoden wie Sputtering, Evaporation, CVD oder eine kombinierte Lösung zu. Die Substrate werden über ein Bandlaufwerk von Rolle zu Rolle transportiert und dabei vakuumbeschichtet, die beschichtete Oberfläche bleibt dabei komplett unberührt. Die patentierte Leybold-Technologie bietet mit seinem 360°-Design einen vollautomatisierten Prozess, der neben der Produktion von flexiblen Solarzellen auch weitere Anwendungsbereiche zulässt.

EAE-Technology

In einem Verbundprojekt der Ruhr-Universität Bochum und Leybold Optics wird die technische Verwendbarkeit des Elektrischen-Asymmetrie-Effektes (EAE) für industrielle Anwendungen zur Herstellung von Silizium-Dünnschicht-Solarzellen untersucht. Ziel ist es, innerhalb einer technischen Anwendung des neuartigen Effektes, eine deutlich höhere Abscheiderate bei gleichbleibend guten Schichteigenschaften zu erreichen. Ein weiterer wesentlicher Vorteil des neuen Verfahrens ist, dass bereits bestehende Plasma-Anlagen prinzipiell weiter verwendet werden können.

Leybold Optics ist Lizenznehmer dieser patentierten Technologie, durch deren Einsatz das Plasma vorteilhafter gesteuert werden kann. Die signifikante Erhöhung der Dispositionsrate für mikrokristallines Silizium wird um den Faktor zwei als möglich angesehen. Das Beschichtungssystem Phoebus von Leybold Optics (PECVD), wird künftig mit der neuen EAE-Technology ausgestattet. Bereits installierte Anlagen können nachgerüstet werden. Dieser Hardware-Upgrade trägt er-heblich dazu bei, Phoebus noch effizienter einzusetzen. Leybold Optics stellte im Juli 2011 während des 11th International Symposium on Sputtering & Plasma Process (ISSP) der Universität Tokyo (The Institute for Solide State Physics) in Kyoto erstmals die Adaption dieser neuen Technologie dem wissenschaftlichen Fachpublikum vor.

Quelle: Leybold Optics GmbH

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